不同的真空系統要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空泵真空機組來完成，即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。
高真空一側的真空泵能達到系統要求的真空度，而低真空一側的真空泵是直排大氣的。顯然簡單的真空機組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統一般需要三級機組，中真空一般需要二級機組。
一臺高真空泵和一臺低真空泵難于組成有效的真空泵真空機組。這有幾方面的原因。流量的連續性就是其中之一。高真空泵都有前級耐壓的限制，即前級高于某一壓力，泵就不能正常工作。而當前級泵達到這一臨界壓力時，往往抽速會減小，這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量，這種流量的不一致破壞了流量連續性的要求，必然會引起真空機組不能正常工作。但如在高低真空泵之間再連接一臺中真空泵，便可起到承上啟下的作用，流量連續，而且各泵皆可工作在*狀態。
真空泵真空機組工作在中真空范圍，是比較適合的，由于其壓縮比不高，正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當三級高真空機組進入較高的真空度時，由于主泵的排氣流量明顯減少，此時僅靠一臺較小的前級泵便可維持抽氣的連續性，在實際運用中這是經常采用的方法，這樣可減少機組的能耗。
更新時間：2020-06-08
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